一、儀器用途 　TGB-600 大平臺明暗場(chǎng)硅片檢測顯微鏡是適用于對太陽(yáng)能電池硅片的顯微觀(guān)察。本儀器配有大移動(dòng)范圍的載物臺、落射照明器、無(wú)限遠長(cháng)工作距離的平場(chǎng)消色差物鏡、大視野目鏡，圖像清晰、襯度好，同時(shí)配有偏光裝置，及其高像素的數碼攝像頭。本儀器配有暗場(chǎng)物鏡,使觀(guān)察硅片時(shí)圖像更加清晰,是檢測太陽(yáng)能電池硅片的”金字塔”的微觀(guān)形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器。
　　硅片檢測顯微鏡可以觀(guān)察到肉眼難觀(guān)測的位錯、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析。雜質(zhì)包括:顆粒、有機雜質(zhì)、無(wú)機雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍、發(fā)黑等現象，使磨片不合格。是太陽(yáng)能電池硅片生產(chǎn)過(guò)程中必不可少的檢測儀器之一。
二、技術(shù)參數上海團結儀器有限公司 電　話(huà)：021-6855 3288 http://www.tjmade.com
1.目鏡類(lèi)型 放大倍數 視場(chǎng)(mm)
大視野目鏡 10X Φ22
2.物鏡類(lèi)別 放大倍數 數值孔徑(NA) 工作距離(mm)
明暗場(chǎng)無(wú)窮遠長(cháng)距平場(chǎng)消色差物鏡 5X 0.12 9.7
10X 0.25 9.3
20X 0.40 7.3 上海團結儀器有限公司 電　話(huà)：021-6855 3288 http://www.tjmade.com
50X 0.70 2.5
80X 0.80 1.25
3.光學(xué)放大倍數：50X 100X 200X 500X 800X
4.三目鏡30°傾斜，雙目瞳距調節范圍：53~75mm
5.五孔轉換器
6.調焦機構：粗微動(dòng)同軸調焦, 微動(dòng)格值：0.8μm,
　粗動(dòng)松緊可調,帶鎖緊和限位裝置
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7.載物臺機械式尺寸：280mmX270mm；移動(dòng)范圍橫向(X) 204mm，縱向(Y) 204mm
8.偏光裝置起偏振器，可360度旋轉，可推拉切換 ；檢偏振器，可推拉切換
9.照明系統12V 50W鹵素燈，亮度可調
10.防霉:特有的防霉系統上海團結儀器有限公司 電　話(huà)：021-6855 3288 http://www.tjmade.com
11.成像系統:高像素的CCD攝像頭
三、系統組成 (TGB-600)：1.硅片顯微微 2.適配鏡 3.CCD攝像器 4.A/D圖像采集卡
四、總放大參考倍數 TGB-600：50--3800倍 上海團結儀器有限公司 電　話(huà)：021-6855 3288 http://www.tjmade.com
五、選購件 1.圖像測量軟件　　2.目鏡： 10X(帶刻度)　　3.物鏡：40X 60X